電阻/電離復(fù)合真空計是基于低真空測量電阻單元(ZJ-52T電阻規(guī))與高真空測量電離單元(ZJ-27電離規(guī))技術(shù)組合，以完成1×105~1×10-5Pa連續(xù)測量與控制。因此該真空計系列具有電阻真空計與電離真空計所有技術(shù)參數(shù)與性能特點；同時又增加了新的功能。

電阻電離復(fù)合真空計 電阻真空計  電離真空計   

型號:DL10-ZDF-III

概述：

電阻/電離復(fù)合真空計是基于低真空測量電阻單元（ZJ-52T電阻規(guī)）與高真空測量電離單元（ZJ-27電離規(guī)）技術(shù)組合，以完成1×105~1×10-5Pa連續(xù)測量與控制。因此該真空計系列具有電阻真空計與電離真空計所有技術(shù)參數(shù)與性能特點；同時又增加了新的功能。該真空計系列具有兩種工作模式：手動模式與自動模式。手動模式工作時，相當(dāng)于獨立的電阻真空計和電離真空計；自動模式工作時，首先電阻單元進(jìn)入測量，當(dāng)電阻單元測量真空度高于電離規(guī)可以開啟的真空度時，電離規(guī)燈絲自動被點亮（開啟），并進(jìn)入高真空測量，實現(xiàn)了從大氣壓（常壓）到高真空的自動連續(xù)測量。還增加了外設(shè)（PLC）開閉電離規(guī)功能，以實現(xiàn)電離規(guī)工作于*真空環(huán)境，使電離規(guī)工作壽命zui大化。部份機(jī)型采用了開關(guān)電源供電及開關(guān)直流電源驅(qū)功穩(wěn)定電離規(guī)燈絲發(fā)射電路，實現(xiàn)了高度集成無工頻變壓器設(shè)計，實現(xiàn)了電離規(guī)燈絲冷態(tài)預(yù)熱緩啟功，克服了電離規(guī)燈絲冷態(tài)啟動過沖現(xiàn)象，延長了規(guī)管壽命，實現(xiàn)了寬廣的交流電源適應(yīng)能（AC/90V ~260V ），實現(xiàn)了寬廣的電纜線長度自適應(yīng)能力（3-30米）。是目前穎的電離規(guī)燈絲驅(qū)動穩(wěn)定技術(shù)。為適應(yīng)真空設(shè)備自動化技術(shù)，并集成了強(qiáng)大的繼電器觸點控制、串行通訊、真空模擬量等擴(kuò)展功能。特別適用于真空應(yīng)用設(shè)備極限真空為10-3-10-4Pa量級，工作真空為10-210-3Pa量級，從大氣壓（常壓）至高真空的測量與控制。

◆技術(shù)參數(shù)：

* 規(guī)管型號：電阻規(guī)ZJ-52T /電離規(guī)ZJ-27

* 測量范圍：連續(xù)測量（自動模式）1×105~1×10-5Pa

獨立測量（手動模式）電阻單元1×105~1×10-1 Pa；電離單元5~1×10-5Pa

* 測量路數(shù)：1低1高

* 控制范圍：

電阻單元 2.5×103~1×100Pa

電離單元 1×100～1×10 -4Pa

* 控制路數(shù)：4路可擴(kuò)展至4或8路

* 控制精度： ± 1%

* 控制方式：繼電器觸點輸出，負(fù)載能力AC220V/3A （或DC28V/3A）無感負(fù)載

* 去氣方式： 焦耳去氣

* 儀器采樣時間： 1S

* 電源：90-260V/50Hz或220V±10% 50Hz

* 功耗：55W

* 重量：6Kg/5Kg/4Kg （視機(jī)箱尺寸而定）

* 機(jī)箱尺寸：240×88×280 或 480×88×280

265×119×280 或480×119×280 （寬×高×深）

◆性能特點：

* LED綠屏數(shù)字顯示

* 寬廣的測量范圍

* 快速的反應(yīng)速度

* 微處理器修正規(guī)管非線性，減少了測量誤差

* 精密真空信號放大電路，穩(wěn)定的零點和滿度

* 寬廣的穩(wěn)發(fā)射回路，自適應(yīng)調(diào)節(jié)穩(wěn)定電離規(guī)發(fā)射電流

* 全量程自動切換，無需手動換檔

* 超量程自動保護(hù)，不會因系統(tǒng)突然曝露大氣而損壞規(guī)管。

* 光電隔離，數(shù)字濾波，優(yōu)異的抗干擾能力，穩(wěn)定、可靠的真空測量

* 功能化、模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計

* 點控或區(qū)域控制，控制上、下限區(qū)間任意設(shè)定

* 控制點掉電（失電）保護(hù)，記憶功能。

* 簡化功能按鍵，操作十分簡單，不會因操作失誤而損壞規(guī)管或儀器。

* PVC 彩色面板，外型美觀大方

◆ 選配擴(kuò)展功能及選件：

* 選配功能:0～5/10V /10mV， 0/4～10/20mA 等真空度摸擬量輸出

* 選配功能: RS232 、RS485等單向或雙向接口輸出

* 選配功能:打印機(jī)及接口

* 規(guī)管接口選件：15.5外徑玻規(guī)；15.5外徑金屬直管 DN16/25/35CF ;DN10/16/25/40KF;NPT;VCR;G管螺紋等接口

* 線長選件:3米/5米/10米/15米/20米/25米/30米......zui長至100 米

◆ 說明：

1、電阻單元有效測量范圍：3 ×10 3 ～5 ×10 -1 Pa

1 × 10 5 ～ 3 × 10 3 Pa 及5 × 10 -1～1 ×10 -1 Pa 測量值僅作參考。

2、電阻單元測量值（用干燥空氣或氮氣校準(zhǔn)的值）與氣體成份有關(guān)，若需測量特殊氣體的真空度，應(yīng)選用其它相應(yīng)型號的真空計。

北京北信未來電子科技中心

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：王華  

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